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水滴角測量儀在光伏行業(yè)硅片中的清洗應(yīng)用說明

發(fā)布時間:2022-05-21 點擊次數(shù):1761

光伏行業(yè)硅片清洗又被稱為制絨,是通過化學(xué)品腐蝕硅片表面,使其受光面積增大,反射率降低的一種技術(shù)。硅片酸洗后需要水沖洗--烘干,轉(zhuǎn)換成氧化膜;根據(jù)氧化膜的親水性原理,利用接觸角來測試水滴的大小,來判定氧化膜的是否達到要求。

接觸角測試儀的原理:液滴在固體的表面達到平衡時,在氣、液、固三相交界處,氣液界面和液固界面之間的夾角稱為接觸角。

根據(jù)原理,表面張力越大(即親水性),水滴在固體表面形成的夾角越小;表面張力越小,水滴在固體表面形成的夾角越大;由此,該水滴角應(yīng)用于硅片清洗后的氧化膜效果判定上;

水滴與氧化膜接觸,角度越小代表氧化膜親水越好,氧化膜的質(zhì)量越好;

為了提供測試效率及驗證概率問題,在測試硅片時,會采取多點測試五點測試(四邊一中),北斗儀器全自動接觸角測試,設(shè)定參考值,自動判定結(jié)果,并且由數(shù)據(jù)全程記錄。

目前測定接觸角的方法有多種,一般分為二類。一類是直接法、即直接測量接觸角的大小;另一類是間接法、即通過其它物理量的測定以及該物理量與接觸角之間的定量關(guān)系來計算出接觸角的大小。常用測定物理量是長度及質(zhì)量。第—類方法精度由測角器所決定;第二類則不但由測定長度或質(zhì)量的儀器精度,而且還由它們間的定量關(guān)系式的準(zhǔn)確度所決定。

1、長度測量法

直接法測口往往要先確定切線的位置,要做到準(zhǔn)確就比較因難。采用長度測量法便能避免之。例如將液滴滴在固體表面上并拍下照片,只要測定液摘與平面接觸面的半徑和其高度。

2、直接測量法

這是廣泛使用的方法,它是將掖滴直接滴在固體表面上或者在固--液界面上吹入一小氣泡,直接或先拍下照片后再用量角器定接觸角。如果固體是板條則可用斜板法測定:將試樣板浸入液體中,侵慢使板傾斜至板面一邊的液體呈水平,插入液體部分的板面與液面所成的角即為接觸角。用測角器讀取口的方法可得到精度為土1度。

3、重量測量法

它是利用測定表面張力的平板法來測定。上述都是測量固體平面值的方法,對于固體粉末,先將固體粉末壓制成一多孔塞,測定將液體圧入(不潤濕固體粉末)或者壓出(潤濕固體粉末)所需的壓力,就可計算出來。

 


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